一、設備簡介：

　　采用準零剛度隔振技術并配合精密步進電機調節(jié)，垂向固有頻率可低至0.4Hz;垂向剛度可調節(jié)設計，滿足不同隔振及穩(wěn)定性要求;多自由度隔振能力，滿足不同方向隔振需求;自主開發(fā)的 UI軟件，可根據客戶設備及現場安裝條件進行調試，提供專業(yè)的解決方案。

　　掃描電子顯微鏡、微硬度計、表面粗糙度計、3D輪廓測量儀、光學隔振平臺、透射電鏡、掃描探針顯微鏡以及其他超精密測量儀器及光學設備。

　　二、隔振降噪系統(tǒng)性能指標及各系統(tǒng)組成：